一種半導體功率器件測試的裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021587744.5 申請日 -
公開(公告)號 CN212872754U 公開(公告)日 2021-04-02
申請公布號 CN212872754U 申請公布日 2021-04-02
分類號 G01R31/26(2014.01)I;G01R1/04(2006.01)I 分類 測量;測試;
發(fā)明人 王玉桃 申請(專利權)人 常州銀河世紀微電子股份有限公司
代理機構 常州市科誼專利代理事務所 代理人 孫彬
地址 213022江蘇省常州市新北區(qū)長江北路19號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種半導體功率器件測試的裝置,它包括大板、器件承載板、活動支架和探針組件,所述大板的中部開設有滑槽,所述器件承載板可在滑槽中移動,所述滑槽的兩側分別設置有支撐桿,所述活動支架套設在支撐桿上并可在支撐桿上滑動,所述支撐桿上套設有彈簧,所述彈簧的一端抵接在大板上,所述彈簧的另一端抵接在活動支架上,所述探針組件固定在活動支架的與大板相對的一面。本實用新型提供一種半導體功率器件測試的裝置,它可以提高傳統(tǒng)測試的準確性,提高工作效率。??