一種用于超薄單晶金剛石襯底研磨的夾具結(jié)構(gòu)及制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811428534.9 申請日 -
公開（公告）號 CN109623631A 公開（公告）日 2019-04-16
申請公布號 CN109623631A 申請公布日 2019-04-16
分類號 B24B37/30（2012.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 李升; 左浩; 劉宏明 申請（專利權(quán)）人 西安碳星半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 石家莊領(lǐng)皓專利代理有限公司 代理人 西安碳星半導(dǎo)體科技有限公司
地址 710000 陜西省西安市國家民用航天產(chǎn)業(yè)基地東長安街888號LED產(chǎn)業(yè)園1號樓1層廠房南半部
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及金剛石生長的技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種用于超薄單晶金剛石襯底研磨的夾具結(jié)構(gòu)及制作方法，其可以減少研磨失誤，方便多個金剛石襯底進(jìn)行同時研磨，減少耗費(fèi)時間；其結(jié)構(gòu)包括固定柱、多組支撐板和多組調(diào)節(jié)螺紋桿，固定柱頂部邊緣區(qū)域設(shè)置有多組放置槽，并在固定柱底部邊緣區(qū)域設(shè)置有多組調(diào)節(jié)孔，多組調(diào)節(jié)孔分別與多組放置槽連通，并在多組調(diào)節(jié)孔內(nèi)壁上分別設(shè)置有與多組調(diào)節(jié)螺紋桿相對應(yīng)的內(nèi)螺紋，多組調(diào)節(jié)螺紋桿底端分別設(shè)置有多組旋轉(zhuǎn)板，其制作方法包括以下步驟：（1）開槽處理；（2）車螺紋；（3）清理廢屑；（4）黏貼防滑墊和緩沖墊；（5）清理浮膠；（6）螺紋桿安裝；（7）繪制刻度；（8）焊接處理。