一種CVD設(shè)備尾氣收集處理裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201821573000.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN209271162U | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-08-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN209271162U | 申請(qǐng)公布日 | 2019-08-20 |
| 分類(lèi)號(hào) | B01D53/78（2006.01）I; B01D53/68（2006.01）I | 分類(lèi) | 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置; |
| 發(fā)明人 | 劉宏明; 左浩 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 西安碳星半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京盛凡智榮知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 西安碳星半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 地址 | 710000 陜西省西安市國(guó)家民用航天產(chǎn)業(yè)基地東長(zhǎng)安街888號(hào)LED產(chǎn)業(yè)園1號(hào)樓1層廠房南半部 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種CVD設(shè)備尾氣收集處理裝置，包括處理箱，所述處理箱的下表面中間位置固定連接有進(jìn)氣管，所述進(jìn)氣管的一側(cè)側(cè)壁鉸接有投放門(mén)，所述投放門(mén)的一側(cè)側(cè)壁固定連接有把手，所述投放門(mén)的側(cè)壁靠近把手的一側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有卡接塊，所述卡接塊設(shè)置在把手的下方，所述進(jìn)氣管的側(cè)壁靠近投放門(mén)的一側(cè)縱向開(kāi)設(shè)有滑槽，所述滑槽的內(nèi)部滑動(dòng)連接有滑塊，所述滑槽的內(nèi)側(cè)壁固定連接有壓縮彈簧，所述壓縮彈簧的另一端與滑塊固定連接，所述處理箱的內(nèi)部底部位置固定連接有澄清石灰水箱和通氣管。本實(shí)用新型廢氣收集處理的效果好，尤其是氯化氫氣體和氟化氫氣體，避免資源的浪費(fèi)和環(huán)境的污染，過(guò)濾裝置可以方便拆卸和安裝，便于清理。 |
