共用一個(gè)射頻源的多等離子體裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201220074242.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN202488863U 公開（公告）日 2012-10-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN202488863U 申請(qǐng)公布日 2012-10-10
分類號(hào) H05H1/46(2006.01)I 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 房永峰;張亮 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州匯智真空科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 215000 江蘇省蘇州市吳中區(qū)木瀆鎮(zhèn)中山東路70號(hào)(科技創(chuàng)業(yè)園3102室)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種共用一個(gè)射頻源的多等離子體裝置，包括射頻源，所述射頻源通過導(dǎo)線連接有射頻源分配器，所述射頻源分配器通過導(dǎo)線連接有若干匹配器，每個(gè)所述匹配器連接有電極。本實(shí)用新型簡化了結(jié)構(gòu)，降低了成本；避免了因射頻源相互干擾過程中形成鋸齒狀的波形的缺陷，可以持續(xù)地穩(wěn)定工作；具有能長時(shí)間保證等離子體的密度，實(shí)現(xiàn)連續(xù)化生產(chǎn)；既能保證等離子體的密度，也能保證等離子體的均勻度。