共用電極的等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積裝置及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210052028.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN103290392A 公開（公告）日 2013-09-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN103290392A 申請(qǐng)公布日 2013-09-11
分類號(hào) C23C16/509(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 房永峰;張亮 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州匯智真空科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 215000 江蘇省蘇州市吳中區(qū)木瀆鎮(zhèn)中山東路70號(hào)(科技創(chuàng)業(yè)園3102室)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種共用電極的等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積裝置及方法，包括于一內(nèi)空外殼內(nèi)部依次排設(shè)且中心重合的若干個(gè)側(cè)板，分別作為首電極、若干個(gè)間電極和尾電極，所述相鄰的首電極、間電極和尾電極之間設(shè)有腔體，腔體上設(shè)有進(jìn)氣口和出氣口；所述首電極通過導(dǎo)線與外部的匹配箱和射頻電源相連，作為射頻電極；所述尾電極與大地相連作為地電極。本發(fā)明的裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，具有更大的等離子體發(fā)生面積；采用本發(fā)明裝置等離子體制備納米顆粒，既能保證等離子體的密度，也能保證等離子體的均勻度，制備的納米顆粒均勻度好，可以持續(xù)穩(wěn)定地生產(chǎn)，適合工業(yè)化生產(chǎn)的推廣。