利用等離子體制備硅納米顆粒的方法及裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200910098051.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN101559946B 公開(kāi)（公告）日 2011-01-05
申請(qǐng)公布號(hào) CN101559946B 申請(qǐng)公布日 2011-01-05
分類號(hào) C01B33/021(2006.01)I 分類 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 皮孝東;楊德仁;韓慶榮 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州匯智真空科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州天勤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 胡紅娟
地址 310027 浙江省杭州市西湖區(qū)浙大路38號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種利用等離子體制備硅納米顆粒的方法及裝置，包括將含有含硅氣源和惰性氣體的混合氣體輸入到等離子體腔中，在真空條件下，激發(fā)等離子體腔中的氣體，使含硅氣源轉(zhuǎn)化形成硅納米顆粒，硅納米顆粒被氣流攜帶出等離子體腔后通過(guò)收集器收集。本發(fā)明方法可以在硅納米顆粒的制備過(guò)程中使用高功率的等離子體，同時(shí)盡量避免了硅納米顆粒在等離子體腔體內(nèi)壁上的沉積和改善了在氣相中對(duì)硅納米顆粒的收集。本發(fā)明使硅納米顆粒的制備達(dá)到了規(guī)模化生產(chǎn)的要求。