利用硅納米顆粒制備高純多晶硅的方法及裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200910098050.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN101559945A 公開(kāi)（公告）日 2009-10-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN101559945A 申請(qǐng)公布日 2009-10-21
分類(lèi)號(hào) C01B33/021(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類(lèi) 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 皮孝東;楊德仁;韓慶榮 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 蘇州匯智真空科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州天勤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 胡紅娟
地址 310027浙江省杭州市西湖區(qū)浙大路38號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種利用硅納米顆粒制備高純多晶硅的方法，使硅納米顆粒從原料腔進(jìn)入熔化腔，加熱熔化腔內(nèi)的硅納米顆粒使其熔融形成硅熔體，硅熔體從熔化腔流出后冷卻凝固成塊狀多晶硅。本發(fā)明還公開(kāi)了實(shí)施該方法的裝置包括帶有真空管路接口的殼體，殼體內(nèi)設(shè)有：帶有進(jìn)口和出口的熔化腔，用于對(duì)熔化腔內(nèi)物料加熱的加熱裝置；和位于熔化腔出口下方的收集裝置。本發(fā)明技術(shù)方案在保證多晶硅料的純度的情況下，顯著降低多晶硅料的制備成本；不僅可以制備多晶硅料，而且可以把傳統(tǒng)上分離的多晶硅料制備和多晶硅鑄造集成起來(lái)，顯著地簡(jiǎn)化工藝，提高生產(chǎn)效率。