一種實(shí)現(xiàn)腔體開(kāi)合度控制的裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202123296935.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN216648237U 公開(kāi)(公告)日 2022-05-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN216648237U 申請(qǐng)公布日 2022-05-31
分類(lèi)號(hào) H01L21/67(2006.01)I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 沈愛(ài)華 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 無(wú)錫華瑛微電子技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州言思嘉信專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 -
地址 214000江蘇省無(wú)錫市新區(qū)震澤路18號(hào)無(wú)錫(國(guó)家)軟件園鯨魚(yú)座A幢1樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種實(shí)現(xiàn)腔體開(kāi)合度控制的裝置,包括擋板框架,所述擋板框架內(nèi)部設(shè)有上腔體、下腔體和氣囊,所述上腔體固定安裝于擋板框架內(nèi)壁頂部,所述下腔體設(shè)置于上腔體底部,所述氣囊設(shè)置于下腔體底部,所述氣囊由頂板、氣囊壁和底板組成,所述頂板與下腔體相接觸,所述底板中部固定連接有管道連接件,所述擋板框架底部設(shè)有第一氣管,所述擋板框架底部開(kāi)設(shè)有通孔,所述第一氣管一端貫穿通孔并延伸至擋板框架內(nèi)部,所述第一氣管延伸至擋板框架內(nèi)部的一端與管道連接件螺紋連接。本實(shí)用新型根據(jù)氣囊的充氣膨脹、泄氣縮小的特性,通過(guò)控制氣囊的進(jìn)氣量以及距離傳感器的高度反饋信息實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制,以此來(lái)實(shí)現(xiàn)下腔自動(dòng)化升降時(shí)的高度位置控制。