一種實現(xiàn)腔體開合度控制的裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123296935.3 申請日 -
公開（公告）號 CN216648237U 公開（公告）日 2022-05-31
申請公布號 CN216648237U 申請公布日 2022-05-31
分類號 H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 沈愛華 申請（專利權(quán)）人 無錫華瑛微電子技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 蘇州言思嘉信專利代理事務所（普通合伙） 代理人 -
地址 214000江蘇省無錫市新區(qū)震澤路18號無錫（國家）軟件園鯨魚座A幢1樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種實現(xiàn)腔體開合度控制的裝置，包括擋板框架，所述擋板框架內(nèi)部設有上腔體、下腔體和氣囊，所述上腔體固定安裝于擋板框架內(nèi)壁頂部，所述下腔體設置于上腔體底部，所述氣囊設置于下腔體底部，所述氣囊由頂板、氣囊壁和底板組成，所述頂板與下腔體相接觸，所述底板中部固定連接有管道連接件，所述擋板框架底部設有第一氣管，所述擋板框架底部開設有通孔，所述第一氣管一端貫穿通孔并延伸至擋板框架內(nèi)部，所述第一氣管延伸至擋板框架內(nèi)部的一端與管道連接件螺紋連接。本實用新型根據(jù)氣囊的充氣膨脹、泄氣縮小的特性，通過控制氣囊的進氣量以及距離傳感器的高度反饋信息實現(xiàn)閉環(huán)控制，以此來實現(xiàn)下腔自動化升降時的高度位置控制。