自動(dòng)檢測(cè)裝置及半導(dǎo)體處理系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202123031851.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN216793618U 公開（公告）日 2022-06-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN216793618U 申請(qǐng)公布日 2022-06-21
分類號(hào) H01L21/66（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 沈愛華 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 無錫華瑛微電子技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州簡(jiǎn)理知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 214000江蘇省無錫市新區(qū)震澤路18號(hào)國(guó)家軟件園3期鯨魚座A棟1樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種自動(dòng)檢測(cè)裝置及半導(dǎo)體處理系統(tǒng)。所述自動(dòng)檢測(cè)裝置包括：旋轉(zhuǎn)裝置，其能夠承載半導(dǎo)體晶圓并帶動(dòng)所述半導(dǎo)體晶圓沿旋轉(zhuǎn)中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；對(duì)齊裝置，用于確保半導(dǎo)體晶圓的中心與所述旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)中心的同心度；線掃描相機(jī)，用于對(duì)準(zhǔn)所述半導(dǎo)體晶圓的邊緣并在所述半導(dǎo)體晶圓旋轉(zhuǎn)過程中通過線掃描方式采集圖像，在采集的圖像達(dá)到預(yù)定高度時(shí)停止；與所述線掃描相機(jī)電性連接的圖像處理單元，用于對(duì)采集的圖像的特定區(qū)域進(jìn)行邊緣識(shí)別以得到表示腐蝕邊緣的第一直線和表示晶圓邊緣的第二直線。這樣可以對(duì)半導(dǎo)體晶圓的腐蝕邊緣進(jìn)行快速的、在線的、自動(dòng)的檢測(cè)，速度快、成本低。