自動檢測裝置及半導(dǎo)體處理系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123031851.7 申請日 -
公開（公告）號 CN216793618U 公開（公告）日 2022-06-21
申請公布號 CN216793618U 申請公布日 2022-06-21
分類號 H01L21/66（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 沈愛華 申請（專利權(quán)）人 無錫華瑛微電子技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州簡理知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 214000江蘇省無錫市新區(qū)震澤路18號國家軟件園3期鯨魚座A棟1樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種自動檢測裝置及半導(dǎo)體處理系統(tǒng)。所述自動檢測裝置包括：旋轉(zhuǎn)裝置，其能夠承載半導(dǎo)體晶圓并帶動所述半導(dǎo)體晶圓沿旋轉(zhuǎn)中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；對齊裝置，用于確保半導(dǎo)體晶圓的中心與所述旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)中心的同心度；線掃描相機(jī)，用于對準(zhǔn)所述半導(dǎo)體晶圓的邊緣并在所述半導(dǎo)體晶圓旋轉(zhuǎn)過程中通過線掃描方式采集圖像，在采集的圖像達(dá)到預(yù)定高度時停止；與所述線掃描相機(jī)電性連接的圖像處理單元，用于對采集的圖像的特定區(qū)域進(jìn)行邊緣識別以得到表示腐蝕邊緣的第一直線和表示晶圓邊緣的第二直線。這樣可以對半導(dǎo)體晶圓的腐蝕邊緣進(jìn)行快速的、在線的、自動的檢測，速度快、成本低。