一種半導(dǎo)體處理裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202123105599.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN216793648U 公開(kāi)（公告）日 2022-06-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN216793648U 申請(qǐng)公布日 2022-06-21
分類(lèi)號(hào) H01L21/68（2006.01）I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 溫子瑛 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 無(wú)錫華瑛微電子技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州簡(jiǎn)理知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 214000江蘇省無(wú)錫市新區(qū)震澤路18號(hào)國(guó)家軟件園3期鯨魚(yú)座A棟1樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種半導(dǎo)體處理裝置，其包括：第一腔室部；可相對(duì)于第一腔室部在打開(kāi)位置和關(guān)閉位置之間移動(dòng)的第二腔室部；在所述第一腔室部和第二腔室部之間放置一片半導(dǎo)體晶圓。分散安裝于第一腔室部或第二腔室部上的多個(gè)可調(diào)晶圓定位機(jī)構(gòu)，每個(gè)可調(diào)定晶圓位機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和安裝于所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)上的定位頭，所述定位頭具有定位斜面，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠驅(qū)動(dòng)所述定位頭運(yùn)動(dòng)，在所述定位頭的運(yùn)動(dòng)過(guò)程中會(huì)使得所述定位斜面與所述半導(dǎo)體晶圓的邊緣接觸，此時(shí)所述定位頭繼續(xù)運(yùn)動(dòng)則會(huì)使得所述定位斜面向內(nèi)推動(dòng)所述半導(dǎo)體晶圓，通過(guò)調(diào)整各個(gè)可調(diào)定位機(jī)構(gòu)的定位頭的位置能夠?qū)λ霭雽?dǎo)體晶圓進(jìn)行定位。這樣，可以實(shí)現(xiàn)所述半導(dǎo)體晶圓的精準(zhǔn)定位。