自動(dòng)溶液配制裝置和半導(dǎo)體處理系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122719933.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN216879164U 公開(kāi)（公告）日 2022-07-05
申請(qǐng)公布號(hào) CN216879164U 申請(qǐng)公布日 2022-07-05
分類號(hào) B01F35/71（2022.01）I;B01F35/80（2022.01）I;B01F35/13（2022.01）I;B01F35/11（2022.01）I;B01F23/45（2022.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 馬杰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 無(wú)錫華瑛微電子技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州簡(jiǎn)理知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 214000江蘇省無(wú)錫市新區(qū)震澤路18號(hào)國(guó)家軟件園3期鯨魚(yú)座A棟1樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種自動(dòng)溶液配制裝置和半導(dǎo)體處理系統(tǒng)。所述溶液自動(dòng)配制裝置包括：管線；五個(gè)旋轉(zhuǎn)閥，其中第一旋轉(zhuǎn)閥的至少一個(gè)選用通孔接收至少一種稀釋液，第二旋轉(zhuǎn)閥的共用通孔通過(guò)管線與第一旋轉(zhuǎn)閥的共用通孔連通，第三旋轉(zhuǎn)閥的共用通孔與第四旋轉(zhuǎn)閥的一個(gè)選用通孔連通，第四旋轉(zhuǎn)閥的至少一個(gè)選用通孔接收至少一種原液，第五旋轉(zhuǎn)閥的至少一個(gè)選用通孔通過(guò)管線與配制液容器連通，第五旋轉(zhuǎn)閥的一個(gè)選用通孔通過(guò)管線連通廢液收集容器或廢液排放管道；第一定量環(huán)，連通于第二旋轉(zhuǎn)閥的一個(gè)選用通孔和第三旋轉(zhuǎn)閥的一個(gè)選用通孔之間；第二定量環(huán)，連通于第四旋轉(zhuǎn)閥的共用通孔和第五旋轉(zhuǎn)閥的共用通孔之間。