自動溶液配制裝置和半導體處理系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122719933.4 申請日 -
公開（公告）號 CN216879164U 公開（公告）日 2022-07-05
申請公布號 CN216879164U 申請公布日 2022-07-05
分類號 B01F35/71（2022.01）I;B01F35/80（2022.01）I;B01F35/13（2022.01）I;B01F35/11（2022.01）I;B01F23/45（2022.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 馬杰 申請（專利權）人 無錫華瑛微電子技術有限公司
代理機構 蘇州簡理知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 -
地址 214000江蘇省無錫市新區(qū)震澤路18號國家軟件園3期鯨魚座A棟1樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種自動溶液配制裝置和半導體處理系統(tǒng)。所述溶液自動配制裝置包括：管線；五個旋轉閥，其中第一旋轉閥的至少一個選用通孔接收至少一種稀釋液，第二旋轉閥的共用通孔通過管線與第一旋轉閥的共用通孔連通，第三旋轉閥的共用通孔與第四旋轉閥的一個選用通孔連通，第四旋轉閥的至少一個選用通孔接收至少一種原液，第五旋轉閥的至少一個選用通孔通過管線與配制液容器連通，第五旋轉閥的一個選用通孔通過管線連通廢液收集容器或廢液排放管道；第一定量環(huán)，連通于第二旋轉閥的一個選用通孔和第三旋轉閥的一個選用通孔之間；第二定量環(huán)，連通于第四旋轉閥的共用通孔和第五旋轉閥的共用通孔之間。