一種腔體運行狀態(tài)視覺監(jiān)測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123297750.4 申請日 -
公開（公告）號 CN216718227U 公開（公告）日 2022-06-10
申請公布號 CN216718227U 申請公布日 2022-06-10
分類號 G01N21/84（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 沈愛華 申請（專利權）人 無錫華瑛微電子技術有限公司
代理機構 蘇州言思嘉信專利代理事務所（普通合伙） 代理人 -
地址 214000江蘇省無錫市新區(qū)震澤路18號無錫（國家）軟件園鯨魚座A幢1樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種腔體運行狀態(tài)視覺監(jiān)測裝置，包括裝置主體、開口處滑軌、升降門和相機，所述裝置主體上設置有相機，所述相機通過電性連接有圖像收集控制系統(tǒng)，所述裝置主體上設置有擋板和上腔體，所述裝置主體內(nèi)設置有一號下腔體和二號下腔體，所述二號下腔體底部設置有氣囊，所述氣囊上放置有升降氣缸，所述升降氣缸貫穿一號下腔體連接有PIN，所述PIN上連接有晶圓，所述裝置主體開口處放置有機械手。本實用新型通過裝置主體內(nèi)分為上腔體和下腔體兩個部分，以及，氣囊?guī)由禋飧椎纳祹覲IN和晶圓的升降，PIN和晶圓的運行情況能被相機實時采集，通過圖像采集系統(tǒng)將數(shù)據(jù)收集和模板匹配，對腔體內(nèi)的黑暗情況下，各個電子元件的運行監(jiān)測。