一種微電子元器件清潔設(shè)備及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810261425.6 申請日 -
公開（公告）號 CN108746002B 公開（公告）日 2021-12-07
申請公布號 CN108746002B 申請公布日 2021-12-07
分類號 B08B3/02（2006.01）I;B08B3/08（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 夏森;黃耀;陳大龍;芮望頤 申請（專利權(quán)）人 安徽尼古拉電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市博太聯(lián)眾專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 任轉(zhuǎn)英
地址 518000 廣東省深圳市南山區(qū)桃源街道塘朗社區(qū)祥瑞三路44號水木眾德科創(chuàng)大廈102
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種微電子元器件清潔設(shè)備及方法，包括清洗室、離心清洗單元、蒸汽發(fā)生單元、蒸汽輸入單元、負(fù)壓控制單元和第一電機(jī)（13），所述清洗離心單元設(shè)置在清洗室（2）內(nèi)部，待清洗的微電子元器件放置在離心清洗單元上，蒸汽發(fā)生單元通過蒸汽輸入單元向清洗室輸入蒸汽，所述負(fù)壓控制單元調(diào)整清洗室（2）內(nèi)容積控制清洗室（2）壓強(qiáng)，第一電機(jī)（13）同時為蒸汽輸入單元和負(fù)壓控制單元提供動力。微電子元器件的清洗有利于提高電子元件的質(zhì)量和使用壽命。