硅電容壓力傳感器提高過載能力的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200910010195.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN101476960A 公開（公告）日 2009-07-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN101476960A 申請(qǐng)公布日 2009-07-08
分類號(hào) G01L9/12(2006.01)I;G01L1/14(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 張治國(guó);李穎;張娜;匡石;劉劍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江中感傳感器科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 沈陽(yáng)科威專利代理有限責(zé)任公司 代理人 沈陽(yáng)儀表科學(xué)研究院;浙江中感傳感器科技有限公司;沈陽(yáng)儀表科學(xué)研究院有限公司
地址 110043遼寧省沈陽(yáng)市大東區(qū)北海街242號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 提高硅電容壓力傳感器過載能力的方法，采用陽(yáng)極鍵合工藝將三塊板組裝而成，其特征在于上、下固定極板上均有限位點(diǎn)，通過位于兩固定極板中間的硅中心極板的可動(dòng)電極實(shí)現(xiàn)過載限位；兩玻璃的上固定極板(13)、下固定極板相對(duì)內(nèi)側(cè)腐蝕區(qū)預(yù)留出限位點(diǎn)(8)，可動(dòng)極板(6)與限位點(diǎn)(8)端面之間有間隙；在傳感器的量程工作范圍內(nèi)，可動(dòng)極板(6)不會(huì)碰到限位點(diǎn)(8)，當(dāng)外加工作壓力超過正常量程后，中心可動(dòng)極板(6)由于位移加大，會(huì)與限位點(diǎn)(8)接觸，此時(shí)存在于中心可動(dòng)極板和固定上、下極板之間的兩個(gè)電容發(fā)生相應(yīng)的變化，通過外部電路檢測(cè)出兩電容的這種變化，實(shí)現(xiàn)對(duì)外加壓力的測(cè)量；如果外加壓力再增加，則可動(dòng)極板(6)由于被限位點(diǎn)(8)抵住而不再發(fā)生移動(dòng)，因限位點(diǎn)(8)的存在實(shí)現(xiàn)了對(duì)可動(dòng)極板(6)的過載限位保護(hù)。本發(fā)明采用下極板中的限位點(diǎn)限制電容極板中的可動(dòng)極板位移量的辦法，保證了過載時(shí)傳感器不被壓力損壞，同時(shí)滿足調(diào)整靈敏度和過載限位保護(hù)的矛盾要求。