聚二甲基硅氧烷薄膜、柔性電容傳感器及其制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910936969.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN110763256B | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-08-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110763256B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-08-20 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01D5/24 | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 吳豪;魏丹陽(yáng) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 廣東思谷智能技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 東莞卓為知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 齊海迪 |
| 地址 | 523000 廣東省東莞市松山湖高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)禮賓路4號(hào)松科苑19號(hào)樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明屬于柔性傳感器領(lǐng)域，并公開(kāi)了聚二甲基硅氧烷薄膜、柔性電容傳感器及其制備方法，該傳感器包括上電極層、中間電介質(zhì)層和下電極層，上和下電極層結(jié)構(gòu)相同，均包括柔性基體材料和鑲嵌在基體材料中的液態(tài)金屬；中間電介質(zhì)層介于上和下電極層之間，其中具有多層階梯介孔微結(jié)構(gòu)，同無(wú)該介質(zhì)層的柔性電容傳感器相比，改善了柔性電容傳感器的線性度；當(dāng)傳感器受到壓力或被導(dǎo)體靠近時(shí)，通過(guò)測(cè)量傳感器電容的變化獲得該傳感器受到的壓力或?qū)w與傳感器之間的距離的大小。本發(fā)明還公開(kāi)了該傳感器的制備方法。通過(guò)本發(fā)明，設(shè)計(jì)出基于液態(tài)金屬電極及多層階梯介孔微結(jié)構(gòu)的電介質(zhì)層的柔性電容式傳感器，實(shí)現(xiàn)柔性傳感器的高靈敏度。 |
