一種半導(dǎo)體晶片測(cè)厚設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210025646.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114038777A 公開（公告）日 2022-02-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN114038777A 申請(qǐng)公布日 2022-02-11
分類號(hào) H01L21/68（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張新峰;黃宏嘉;帝瑪;陳善亮;楊祚寶;王霖;龍安澤;曹金星;杜陳;應(yīng)艷陽 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇卓遠(yuǎn)半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥市都耒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 何鑫鑫
地址 226500江蘇省南通市如皋市城南街道電信東一路6號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及檢測(cè)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種半導(dǎo)體晶片測(cè)厚設(shè)備，包括循環(huán)檢測(cè)機(jī)構(gòu)，所述循環(huán)檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括檢測(cè)箱，所述檢測(cè)箱上固定設(shè)置有兩個(gè)用于吸取晶片的吸持機(jī)構(gòu)。本發(fā)明中，通過于半導(dǎo)體晶片測(cè)厚設(shè)備中的盒體兩端均設(shè)置有吸持機(jī)構(gòu)，使得兩個(gè)夾持板能閉合，從而能通過兩個(gè)夾持板夾持住半導(dǎo)體晶片或者晶圓進(jìn)行夾持，從而能對(duì)半導(dǎo)體晶片或者晶圓對(duì)定位，確保晶片能在兩個(gè)夾持板的中心位置處，這樣能便于對(duì)晶片的中心點(diǎn)進(jìn)行測(cè)厚，并且通過朝下吸持晶片能防止灰塵落到晶片或者晶圓的表面，從而能提高設(shè)備測(cè)厚的準(zhǔn)確率，通過于半導(dǎo)體晶片測(cè)厚設(shè)備中設(shè)置有循環(huán)檢測(cè)機(jī)構(gòu)，形成一套循環(huán)的流程，這樣能提高設(shè)備對(duì)多個(gè)晶片或者晶圓的檢測(cè)效率。