一種長型條半導體處理設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111246489.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113707581A 公開（公告）日 2021-11-26
申請公布號 CN113707581A 申請公布日 2021-11-26
分類號 H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張新峰;曹吳昊 申請（專利權）人 江蘇卓遠半導體有限公司
代理機構 合肥市都耒知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 何鑫鑫
地址 226500江蘇省南通市如皋市城南街道電信東一路6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導體制備技術領域，具體涉及一種長型條半導體處理設備，包括底座，所述底座頂面一端轉動連接有蓋體，所述底座一端固定連接有用于放置藍膜的進料機構，所述蓋體一側開設有用于藍膜穿過的限位槽。本發(fā)明中，通過將晶圓放置在圓槽內部，將藍膜放置于進料機構上，將藍膜穿過蓋體上的限位槽，再將蓋體關閉，使定點機構位于晶圓上方，同時定點機構對藍膜位置進行固定和壓張，繼而利用定點機構擠壓為頂面凸出的彈性橡膠膜，使彈性橡膠膜擠壓藍膜與晶圓中心貼合，繼而利用擴散機構使彈性橡膠膜對晶圓進行從中心到邊沿的擠壓，繼而使用手動機構將彈性橡膠膜整體下壓，對晶圓進行全面擠壓，從而使藍膜與晶圓貼合緊密，不易出現(xiàn)氣泡等缺陷。