一種半導(dǎo)體用塑封殘膠去除裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210013741.8 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN114011762B 公開（公告）日 2022-03-08
申請公布號(hào) CN114011762B 申請公布日 2022-03-08
分類號(hào) B08B1/00（2006.01）I;B08B1/02（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;H01L21/56（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 張新峰;黃宏嘉;帝瑪;陳善亮;楊祚寶;王霖;龍安澤;曹金星;杜陳;應(yīng)艷陽 申請（專利權(quán)）人 江蘇卓遠(yuǎn)半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥市都耒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 何鑫鑫
地址 226500江蘇省南通市如皋市城南街道電信東一路6號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種半導(dǎo)體用塑封殘膠去除裝置，包括兩個(gè)相互接觸的輸送模塊一與輸送模塊二，所述輸送模塊一與輸送模塊二頂部一側(cè)均固定連接有驅(qū)動(dòng)模塊，所述驅(qū)動(dòng)模塊底部固定連接有除膠模塊，所述輸送模塊一與輸送模塊二另一側(cè)固定連接有翻轉(zhuǎn)模塊，且輸送模塊一與輸送模塊二頂部均固定連接有限位框，兩個(gè)所述限位框相互接觸。本發(fā)明中，通過固定桿固定連接導(dǎo)向軌，在對(duì)半導(dǎo)體的一個(gè)面除膠后，導(dǎo)向軌可以使放置板二合在放置板一上，然后可以通過翻轉(zhuǎn)模塊將半導(dǎo)體翻轉(zhuǎn)到放置板二上，這樣可以對(duì)半導(dǎo)體的另一個(gè)進(jìn)行除膠，不需要手動(dòng)調(diào)整半導(dǎo)體的位置，有利于加快除膠的速度，從而提高生產(chǎn)效率。