一種長(zhǎng)型條半導(dǎo)體處理設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111246489.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113707581B | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-12-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113707581B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-12-24 |
| 分類號(hào) | H01L21/67 | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 張新峰;曹吳昊 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇卓遠(yuǎn)半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥市都耒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 何鑫鑫 |
| 地址 | 226500 江蘇省南通市如皋市城南街道電信東一路6號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種長(zhǎng)型條半導(dǎo)體處理設(shè)備，包括底座，所述底座頂面一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有蓋體，所述底座一端固定連接有用于放置藍(lán)膜的進(jìn)料機(jī)構(gòu)，所述蓋體一側(cè)開(kāi)設(shè)有用于藍(lán)膜穿過(guò)的限位槽。本發(fā)明中，通過(guò)將晶圓放置在圓槽內(nèi)部，將藍(lán)膜放置于進(jìn)料機(jī)構(gòu)上，將藍(lán)膜穿過(guò)蓋體上的限位槽，再將蓋體關(guān)閉，使定點(diǎn)機(jī)構(gòu)位于晶圓上方，同時(shí)定點(diǎn)機(jī)構(gòu)對(duì)藍(lán)膜位置進(jìn)行固定和壓張，繼而利用定點(diǎn)機(jī)構(gòu)擠壓為頂面凸出的彈性橡膠膜，使彈性橡膠膜擠壓藍(lán)膜與晶圓中心貼合，繼而利用擴(kuò)散機(jī)構(gòu)使彈性橡膠膜對(duì)晶圓進(jìn)行從中心到邊沿的擠壓，繼而使用手動(dòng)機(jī)構(gòu)將彈性橡膠膜整體下壓，對(duì)晶圓進(jìn)行全面擠壓，從而使藍(lán)膜與晶圓貼合緊密，不易出現(xiàn)氣泡等缺陷。 |
