一種半導(dǎo)體測試設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111241677.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113671358B 公開（公告）日 2021-12-21
申請公布號 CN113671358B 申請公布日 2021-12-21
分類號 G01R31/28 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張新峰;曹吳昊 申請（專利權(quán)）人 江蘇卓遠(yuǎn)半導(dǎo)體有限公司
代理機構(gòu) 合肥市都耒知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 何鑫鑫
地址 226500 江蘇省南通市如皋市城南街道電信東一路6號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體測試技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種半導(dǎo)體測試設(shè)備，包括L形底板，所述L形底板的頂面轉(zhuǎn)動連接有托盤，所述托盤的頂面通過轉(zhuǎn)動軸均勻轉(zhuǎn)動連接有多個齒輪一，所述轉(zhuǎn)動軸的頂端固定連接有限位機構(gòu)，所述托盤頂面的中部固定連接有吸塵機構(gòu)，所述頂板的底部固定連接有導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌的內(nèi)部滑動卡接有與頂板底面固定連接的夾板。本發(fā)明中，通過氣缸驅(qū)動使夾板沿著導(dǎo)軌移動，在夾板上三角形槽的限位作用下使連接柱帶著探針設(shè)備上下移動測試晶圓，在驅(qū)動機構(gòu)一的作用下使托板轉(zhuǎn)動更換不同的晶圓測試，在驅(qū)動機構(gòu)二的作用下實現(xiàn)晶圓的限位固定，一個氣缸實現(xiàn)測試晶圓、固定晶圓、更換晶圓及清潔晶圓，結(jié)構(gòu)簡單，提高了晶圓測試的工作效率。