具有固定以及冷卻功能結(jié)構(gòu)的真空鍍膜機(jī)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022008258.X 申請日 -
公開(公告)號 CN213624344U 公開(公告)日 2021-07-06
申請公布號 CN213624344U 申請公布日 2021-07-06
分類號 C23C14/22;C23C14/50 分類 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面化學(xué)處理;金屬材料的擴(kuò)散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 林衛(wèi)良 申請(專利權(quán))人 溫嶺市華航電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州浙科專利事務(wù)所(普通合伙) 代理人 吳秉中
地址 317500 浙江省臺州市溫嶺市大溪鎮(zhèn)高田村一級公路北側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種具有固定以及冷卻功能結(jié)構(gòu)的真空鍍膜機(jī),屬于鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。它解決了現(xiàn)有真空鍍膜機(jī)性能差等問題。本具有固定以及冷卻功能結(jié)構(gòu)的真空鍍膜機(jī),包括外機(jī)殼,外機(jī)殼內(nèi)具有中空的內(nèi)腔,內(nèi)腔中設(shè)置有磁控濺射機(jī)構(gòu)以及可橫向移動的置放機(jī)構(gòu),置放機(jī)構(gòu)設(shè)置于磁控濺射機(jī)構(gòu)的下部,置放機(jī)構(gòu)與外機(jī)殼的底部之間形成有冷卻室,冷卻室內(nèi)設(shè)置有可上下移動的移動板,移動板上端設(shè)有用于置放機(jī)構(gòu)固定以及加快置放機(jī)構(gòu)上廢料冷卻的凸塊結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型具有性能穩(wěn)定的優(yōu)點(diǎn)。