一種提高熱釋電單晶芯片性能的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011554094.9 申請日 -
公開(公告)號 CN114659644A 公開(公告)日 2022-06-24
申請公布號 CN114659644A 申請公布日 2022-06-24
分類號 G01J5/35(2022.01)I 分類 測量;測試;
發(fā)明人 陳建偉;朱榮峰;羅豪甦;焦杰;趙靜;王西安;徐海清;林迪;朱莉莉;狄文寧;梁柱;魯麗 申請(專利權(quán))人 中國科學(xué)院上海硅酸鹽研究所
代理機構(gòu) 上海瀚橋?qū)@硎聞?wù)所(普通合伙) 代理人 -
地址 200050上海市長寧區(qū)定西路1295號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種提高熱釋電單晶芯片性能的方法,包括:(1)將熱釋電單晶芯片進行第一次退火處理;(2)將第一次退火處理后的熱釋電單晶芯片在低頻、弱電場下進行交流電場老化處理、第二次退火處理和直流極化處理,以提高熱釋電單晶芯片性能。