一種提高熱釋電單晶芯片性能的方法
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202011554094.9 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN114659644A | 公開(公告)日 | 2022-06-24 |
申請公布號 | CN114659644A | 申請公布日 | 2022-06-24 |
分類號 | G01J5/35(2022.01)I | 分類 | 測量;測試; |
發(fā)明人 | 陳建偉;朱榮峰;羅豪甦;焦杰;趙靜;王西安;徐海清;林迪;朱莉莉;狄文寧;梁柱;魯麗 | 申請(專利權(quán))人 | 中國科學(xué)院上海硅酸鹽研究所 |
代理機構(gòu) | 上海瀚橋?qū)@硎聞?wù)所(普通合伙) | 代理人 | - |
地址 | 200050上海市長寧區(qū)定西路1295號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明涉及一種提高熱釋電單晶芯片性能的方法,包括:(1)將熱釋電單晶芯片進行第一次退火處理;(2)將第一次退火處理后的熱釋電單晶芯片在低頻、弱電場下進行交流電場老化處理、第二次退火處理和直流極化處理,以提高熱釋電單晶芯片性能。 |
