一種碳化硅外延反應(yīng)室側(cè)壁部件

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022031451.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213624470U 公開（公告）日 2021-07-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN213624470U 申請(qǐng)公布日 2021-07-06
分類號(hào) C30B25/08;C30B29/36 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 李凱希;馮淦;趙建輝 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 瀚天天成電子科技（廈門）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門市精誠新創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 黃斌
地址 361001 福建省廈門市火炬高新區(qū)（翔安）產(chǎn)業(yè)區(qū)翔星路96號(hào)建業(yè)樓B座一層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種碳化硅外延反應(yīng)室側(cè)壁部件，包括分別安裝于碳化硅外延反應(yīng)室相對(duì)兩側(cè)壁上且鏡像設(shè)置的兩側(cè)壁擋板，其特征在于：所述側(cè)壁擋板由至少兩拼接件沿前后方向拼接而成，每一拼接件的前端和/或后端上具有與相鄰拼接件進(jìn)行拼接的拼接部，且每一側(cè)壁擋板的所有拼接件相互拼接后形成沿前后方向延伸、且連續(xù)的內(nèi)壁面，已解決現(xiàn)有側(cè)壁部件更換成本高的問題。