一種碳化硅外延反應(yīng)室源氣進氣過渡部件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022046710.1 申請日 -
公開（公告）號 CN213624472U 公開（公告）日 2021-07-06
申請公布號 CN213624472U 申請公布日 2021-07-06
分類號 C30B29/36（2006.01）I;C30B25/14（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 李凱希;張澤康;馮淦;趙建輝 申請（專利權(quán)）人 瀚天天成電子科技（廈門）有限公司
代理機構(gòu) 廈門市首創(chuàng)君合專利事務(wù)所有限公司 代理人 張松亭
地址 361000福建省廈門市翔安區(qū)翔星路98號（火炬高新產(chǎn)業(yè)園育成中心）強業(yè)樓803室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種碳化硅外延反應(yīng)室源氣進氣過渡部件，由于第一本體和第二本體相嵌合配合，由于淀積生長過程中會產(chǎn)生大量高溫的附屬物粉塵和顆粒吸附在源氣進氣過渡部件內(nèi)，因此，當位于后端的第二本體淀積的粉塵和顆粒較厚時，可僅更換第二本體，使用更加方便且降低了成本；且，由于第一隔板和第二隔板可分別在第一本體和第二本體內(nèi)活動，可根據(jù)實際需要隨時調(diào)整第一隔板和第二隔板的位置進而調(diào)整第一通道和第二通道的流量以使工藝氣體在進入反應(yīng)室時可混合的更加均勻。同時，第一定位組件可定位第一隔板與第一本體，第二定位組件可定位第二隔板和第二本體，穩(wěn)定性更好，第一隔板和第二隔板不會由于氣流的大小進行晃動或移位。