晶硅片切割液的固液分離方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410395493.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN104194910B 公開（公告）日 2017-09-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN104194910B 申請(qǐng)公布日 2017-09-26
分類號(hào) C10M175/00(2006.01)I 分類 石油、煤氣及煉焦工業(yè)；含一氧化碳的工業(yè)氣體；燃料；潤(rùn)滑劑；泥煤;
發(fā)明人 張賽;李森;張冬林;王天虎 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 開封萬(wàn)盛新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 河南科技通律師事務(wù)所 代理人 樊羿
地址 475000 河南省開封市禹王臺(tái)區(qū)開封市精細(xì)化工園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種晶硅片切割液的固液分離方法，旨在解決切割液中細(xì)小固體顆粒難以分離的問(wèn)題，包括下列步驟：先調(diào)節(jié)切割液pH值至8～9，然后靜止10～20小時(shí)沉降分層，再在0.01～0.05MPa的虹吸壓力下虹吸分離得上層清液，將其與經(jīng)高速離心分離下層料漿所得的液體混合均勻后，通入石英砂過(guò)濾，然后加入吸附劑吸附，再經(jīng)壓濾、超濾后，最終實(shí)現(xiàn)切割液的固液分離。本發(fā)明方法具有固液分離徹底、分離的切割液可重新使用的特點(diǎn)，同時(shí)避免化學(xué)分離方法反應(yīng)氣體的生成以及對(duì)環(huán)境及生產(chǎn)安全造成的不良影響。