一種基于視覺系統(tǒng)的晶圓缺口檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120196357.7 申請日 -
公開（公告）號 CN215179767U 公開（公告）日 2021-12-14
申請公布號 CN215179767U 申請公布日 2021-12-14
分類號 G01N21/95（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王忠 申請（專利權(quán)）人 上海灝谷集成電路技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 上海匯齊專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 童強
地址 200000上海市浦東新區(qū)川沙路1098號8幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種基于視覺系統(tǒng)的晶圓缺口檢測裝置，包括底座，所述底座上固定連接有安裝板，所述安裝板上轉(zhuǎn)動連接有安裝盤，所述安裝板內(nèi)設(shè)有安裝腔，所述安裝腔內(nèi)設(shè)有用于提供安裝盤轉(zhuǎn)動所需動力的傳動機構(gòu)，所述安裝盤上設(shè)有第一安裝槽，所述第一安裝槽內(nèi)設(shè)有用于固定晶圓本體的夾緊機構(gòu)，所述底座上固定連接有安裝桿，所述安裝桿左側(cè)設(shè)有氣缸，所述氣缸的伸縮末端固定連接有連接板，所述連接板上設(shè)有檢測器，所述安裝桿上設(shè)有第二安裝槽。本實用新型結(jié)構(gòu)合理，其能夠適應(yīng)不同大小的晶圓的檢測固定，且能夠?qū)A進行全面檢測，準確性更高，且檢測位置的轉(zhuǎn)換方便，可以提高檢測效率。