一種量子鉆石原子力顯微鏡用三維微米移動(dòng)臺(tái)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120449099.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214310591U 公開（公告）日 2021-09-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN214310591U 申請(qǐng)公布日 2021-09-28
分類號(hào) G01Q60/24（2010.01）I;G01Q60/38（2010.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 胡江波;許克標(biāo);張偉杰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 國(guó)儀量子（合肥）技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥律眾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 殷娟
地址 230000安徽省合肥市高新區(qū)創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園2期E2棟B區(qū)4樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種量子鉆石原子力顯微鏡用三維微米移動(dòng)臺(tái)，包括中空安裝平臺(tái)，中空安裝平臺(tái)包括呈上下位置固定的中空頂板和中空底板，中空頂板與中空底板之間設(shè)置有二維調(diào)節(jié)裝置，二維調(diào)節(jié)裝置底部連接有安裝AFM探針的探針支座，AFM探針置于中空安裝平臺(tái)的中空區(qū)域下部，二維調(diào)節(jié)裝置通過(guò)探針支座帶動(dòng)AFM探針在水平方向上移動(dòng)實(shí)現(xiàn)水平方向上位置調(diào)節(jié)，中空頂板上安裝有實(shí)現(xiàn)探針支座豎直升降的升降調(diào)節(jié)裝置；本實(shí)用新型的量子鉆石原子力顯微鏡用三維微米移動(dòng)臺(tái)，通過(guò)中空結(jié)構(gòu)的設(shè)置，實(shí)現(xiàn)了物鏡與探針結(jié)構(gòu)部件的直接相對(duì)安裝，移動(dòng)臺(tái)整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且體積小，可以實(shí)現(xiàn)三維微動(dòng)調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)精度高。