一種新型射頻離子源
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201922419071.6 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN210837644U | 公開（公告）日 | 2020-06-23 |
| 申請公布號 | CN210837644U | 申請公布日 | 2020-06-23 |
| 分類號 | H01J27/02(2006.01)I;H01J1/94(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 施春燕 | 申請（專利權(quán)）人 | 四川至臻精密光學有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 合肥華利知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） | 代理人 | 蘇州至臻精密光學有限公司 |
| 地址 | 215600江蘇省蘇州市張家港市大新鎮(zhèn)海壩路 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種新型射頻離子源，具體涉及離子源技術(shù)領域，包括底座，所述底座頂部開設有第一滑槽，所述第一滑槽內(nèi)滑動連接有兩個滑塊，所述滑塊頂部固定連接有滑桿，所述滑桿外側(cè)壁滑動連接有滑套，所述滑套外壁嵌設有固定座，所述固定座內(nèi)腔兩側(cè)均開設有第二滑槽，且兩側(cè)第二滑槽內(nèi)滑動連接有滑板。本實用新型通過設置夾持板和吸熱座，射頻離子源本體固定在夾持板內(nèi)腔，吸熱的減震墊能夠?qū)崃繉電A持板和吸熱座內(nèi)，兩側(cè)的吸熱座將熱量通過導熱柱導入散熱片內(nèi)，空氣流動帶走散熱片表面的熱量，從而能夠有效避免熱量的堆積，與現(xiàn)有技術(shù)相比保證了射頻離子源本體工作狀態(tài)的穩(wěn)定性，滿足了使用需要。?? |
