一種射頻離子源

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910410936.4 申請日 -
公開（公告）號 CN110039383A 公開（公告）日 2019-07-23
申請公布號 CN110039383A 申請公布日 2019-07-23
分類號 B24B1/00;B24B41/00 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 施春燕 申請（專利權(quán)）人 四川至臻精密光學(xué)有限公司
代理機構(gòu) 北京匯捷知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 蘇州至臻精密光學(xué)有限公司
地址 215636 江蘇省蘇州市張家港市大新鎮(zhèn)海壩路蘇州至臻精密光學(xué)有限公司
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種結(jié)構(gòu)緊湊、性能穩(wěn)定的射頻離子源，包括安裝座，安裝座上設(shè)有陶瓷底座，陶瓷底座上設(shè)有陶瓷放電腔，離子引束系統(tǒng)安裝在陶瓷放電腔中并固定在陶瓷底座上，安裝座上設(shè)有上安裝架，上安裝架中在陶瓷放電腔的外部套設(shè)有耦合天線線圈，上安裝架上在耦合天線線圈上方設(shè)有約束磁場，約束磁場套住陶瓷放電腔上部，上安裝架上在約束磁場上方設(shè)有中和器，安裝座下部設(shè)有下安裝架，安裝座下部設(shè)有匹配網(wǎng)絡(luò)，陶瓷放電腔開口處設(shè)有柵網(wǎng)，下安裝架上設(shè)有兩個通過線纜分別與耦合天線線圈及匹配網(wǎng)絡(luò)連接的線纜接頭，陶瓷放電腔中設(shè)有將等離子氣體往外吹送的送氣管。