一種射頻離子源
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910410936.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN110039383A | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-07-23 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110039383A | 申請(qǐng)公布日 | 2019-07-23 |
| 分類號(hào) | B24B1/00;B24B41/00 | 分類 | 磨削；拋光; |
| 發(fā)明人 | 施春燕 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 四川至臻精密光學(xué)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京匯捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 蘇州至臻精密光學(xué)有限公司 |
| 地址 | 215636 江蘇省蘇州市張家港市大新鎮(zhèn)海壩路蘇州至臻精密光學(xué)有限公司 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種結(jié)構(gòu)緊湊、性能穩(wěn)定的射頻離子源，包括安裝座，安裝座上設(shè)有陶瓷底座，陶瓷底座上設(shè)有陶瓷放電腔，離子引束系統(tǒng)安裝在陶瓷放電腔中并固定在陶瓷底座上，安裝座上設(shè)有上安裝架，上安裝架中在陶瓷放電腔的外部套設(shè)有耦合天線線圈，上安裝架上在耦合天線線圈上方設(shè)有約束磁場(chǎng)，約束磁場(chǎng)套住陶瓷放電腔上部，上安裝架上在約束磁場(chǎng)上方設(shè)有中和器，安裝座下部設(shè)有下安裝架，安裝座下部設(shè)有匹配網(wǎng)絡(luò)，陶瓷放電腔開(kāi)口處設(shè)有柵網(wǎng)，下安裝架上設(shè)有兩個(gè)通過(guò)線纜分別與耦合天線線圈及匹配網(wǎng)絡(luò)連接的線纜接頭，陶瓷放電腔中設(shè)有將等離子氣體往外吹送的送氣管。 |
