一種利用溫度梯度可調(diào)節(jié)的溫場(chǎng)裝置生長(zhǎng)近化學(xué)計(jì)量比鈮酸鋰晶體的方法
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201510400519.3 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN105019024A | 公開(公告)日 | 2015-11-04 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN105019024A | 申請(qǐng)公布日 | 2015-11-04 |
分類號(hào) | C30B29/30(2006.01)I;C30B15/20(2006.01)I | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
發(fā)明人 | 桑元華;康學(xué)良;梁龍躍;郭岱東;趙莉莉;喬永軍;翟仲軍;劉宏 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 山東華特知新材料有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 濟(jì)南圣達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 李健康 |
地址 | 250061 山東省濟(jì)南市歷城區(qū)山大南路27號(hào) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開了一種利用溫度梯度可調(diào)節(jié)的溫場(chǎng)裝置生長(zhǎng)近化學(xué)計(jì)量比鈮酸鋰晶體的方法,包括對(duì)晶體生長(zhǎng)爐溫場(chǎng)裝置結(jié)構(gòu)的改進(jìn),以實(shí)現(xiàn)對(duì)溫度梯度變化的機(jī)械控制,并在晶體生長(zhǎng)不同階段,通過改變溫場(chǎng)頂部保溫罩的保溫效果,實(shí)現(xiàn)垂直于籽晶桿軸線方向上的溫度梯度變化,用于滿足晶體生長(zhǎng)過程中縮頸和放肩所需的較大溫度梯度的要求,以及晶體等徑生長(zhǎng)所需的較小溫度梯度的要求,從而實(shí)現(xiàn)高品質(zhì)的近化學(xué)計(jì)量比晶體的生長(zhǎng)。本發(fā)明方法也用于其他類型的晶體生長(zhǎng)可變溫度梯度的溫場(chǎng)控制上,并可實(shí)現(xiàn)計(jì)算機(jī)自動(dòng)程序控制管理,避免人工操作的誤差,確保對(duì)鉭酸鋰、鈮酸鋰等晶體生長(zhǎng)質(zhì)量的要求,具有良好的應(yīng)用前景。 |
