一種橢偏儀測(cè)量裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202120013648.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN216117305U | 公開（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216117305U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-22 |
| 分類號(hào) | G01N21/21（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I;G01N21/15（2006.01）I;G01B11/06（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 黃爽;黎浩;王漢華;許海明 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 湖北光安倫芯片有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京匯澤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 代嬋 |
| 地址 | 436000湖北省鄂州市葛店開發(fā)區(qū)高新三路光谷聯(lián)合科技城第C9幢5單元 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種橢偏儀測(cè)量裝置，包括平面二維機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)以及用于固定樣品的樣品臺(tái)，所述平面二維機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)固定在橢偏儀的底座上，所述樣品臺(tái)通過(guò)支座支撐在平面二維機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)上，通過(guò)平面二維機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)帶動(dòng)支座上的樣品臺(tái)沿平面移動(dòng)。本實(shí)用新型采用平面二維機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)代替鑷子移動(dòng)晶片，減少測(cè)量過(guò)程中人為移動(dòng)晶片的次數(shù)，減少晶片表面破損與污染，提高良率，且其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，在生產(chǎn)制造過(guò)程中便于操作。 |
