具有鈍化層的薄膜體聲波諧振器及制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110449910.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113162568A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-07-23 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113162568A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-23 |
| 分類號(hào) | H03H3/02;H03H9/02 | 分類 | 基本電子電路; |
| 發(fā)明人 | 高安明;姜偉 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 浙江信唐智芯科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海段和段律師事務(wù)所 | 代理人 | 李佳俊;郭國(guó)中 |
| 地址 | 325038 浙江省溫州市浙南科技城創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)新天地一期1號(hào)樓506室（自主申報(bào)） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種具有鈍化層的薄膜體聲波諧振器及制備方法，包括襯底、壓電層、底部電極、頂部電極、第一鈍化層以及第二鈍化層；壓電層設(shè)置在襯底的上方，所述壓電層與襯底之間設(shè)置有空氣腔，底部電極設(shè)置在壓電層和襯底之間，頂部電極設(shè)置在壓電層的上方；第一鈍化層將頂部電極和壓電層完全覆蓋，第二鈍化層位于第一鈍化層的上方并將其完全覆蓋。采用空氣腔，在襯底和諧振器震蕩區(qū)域之間形成金屬和空氣的交界面，有助于將聲波限制在震蕩堆內(nèi)，提高了諧振器的機(jī)械強(qiáng)度；通過(guò)第一鈍化層和第二鈍化層配合，可以有效地隔離諧振器與外界環(huán)境，降低諧振器的溫度漂移系數(shù)，并可以通過(guò)削整第二鈍化層厚度靈敏地調(diào)整諧振器的諧振頻率。 |
