高Q值氮化鋁lamb波諧振器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022703114.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN213460044U | 公開（公告）日 | 2021-06-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213460044U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-15 |
| 分類號(hào) | H01P7/10;H01P1/207 | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 高安明;姜偉;劉偉 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 浙江信唐智芯科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海段和段律師事務(wù)所 | 代理人 | 李佳俊;郭國(guó)中 |
| 地址 | 325038 浙江省溫州市浙南科技城創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)新天地一期1號(hào)樓506室（自主申報(bào)） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供了一種高Q值氮化鋁lamb波諧振器，包括：電極、薄膜(2)；所述電極包括：叉指電極(1)、底電極(3)；所述叉指電極(1)的一端接入RF信號(hào)；所述叉指電極(1)的另一端與地相連；所述底電極(3)采用電性浮接；所述薄膜(2)設(shè)置于叉指電極(1)、底電極(3)之間。本實(shí)用新型通過(guò)采用壓電薄膜，解決了其他常規(guī)壓電薄膜很難與半導(dǎo)體工藝兼容、介電常數(shù)過(guò)高、機(jī)械品質(zhì)因數(shù)低等問(wèn)題。這使得本專利所提出的諧振器在高靈敏度智能傳感器的應(yīng)用中能發(fā)揮更加優(yōu)越的性能。 |
