可抑制雜散模的射頻聲波諧振器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022742123.6 申請日 -
公開（公告）號 CN213846632U 公開（公告）日 2021-07-30
申請公布號 CN213846632U 申請公布日 2021-07-30
分類號 H03H9/17（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I;H03H9/02（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 高安明;姜偉;劉偉 申請（專利權(quán)）人 浙江信唐智芯科技有限公司
代理機構(gòu) 上海段和段律師事務(wù)所 代理人 李佳俊;郭國中
地址 325038 浙江省溫州市浙南科技城創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)新天地一期1號樓506室（自主申報）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種可抑制雜散模的射頻聲波諧振器，包括：電極、壓電薄膜（2）以及硅襯底（4）；所述電極包括：頂電極（1）、底電極（3）；所述頂電極（1）設(shè)置于壓電薄膜（2）的上側(cè)；所述底電極（3）設(shè)置于壓電薄膜（2）的下側(cè)；所述硅襯底（4）設(shè)置于底電極（3）的下側(cè)；所述可抑制雜散模的射頻聲波諧振器采用以下任意一種結(jié)構(gòu)：?硅反面刻蝕結(jié)構(gòu)；?空隙結(jié)構(gòu)；?布拉格反射層結(jié)構(gòu)。本實用新型通過采用各邊不平行的頂電極形狀，解決了常規(guī)頂電極容易激發(fā)寄生雜散模的問題，使得諧振器的諧振曲線趨于平坦，優(yōu)化諧振器的性能。