一種真空磁控濺射鍍膜用旋轉(zhuǎn)陰極驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201010208947.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN102296273A 公開(kāi)（公告）日 2011-12-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN102296273A 申請(qǐng)公布日 2011-12-28
分類(lèi)號(hào) C23C14/35(2006.01)I 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 魏慶瑄;李惠 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 馬鞍山子創(chuàng)功能性膜工藝研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海衡方知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 上海子創(chuàng)鍍膜技術(shù)有限公司;馬鞍山子創(chuàng)功能性膜工藝研究院有限公司
地址 201617 上海市松江區(qū)石湖蕩鎮(zhèn)唐明路277號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種真空磁控濺射鍍膜用旋轉(zhuǎn)陰極驅(qū)動(dòng)端頭，其包括聚甲醛基座(1)、驅(qū)動(dòng)頭殼體(2)、驅(qū)動(dòng)軸(3)、驅(qū)動(dòng)齒輪(30)、從動(dòng)齒輪(31)、軸套(4)、輸入軸頭(40)、磁芯軸(41)、冷卻水管接口(5)、電刷接線柱(6)、電刷裝置(60)、靶材(9)、前端蓋(10)、后端蓋(11)，其中，驅(qū)動(dòng)齒輪(30)為錐齒輪，設(shè)置在驅(qū)動(dòng)軸(3)下端，從動(dòng)齒輪(31)也為錐形齒輪，兩者通過(guò)錐齒輪傳動(dòng)方式進(jìn)行傳動(dòng)，聚甲醛基座(1)與驅(qū)動(dòng)頭殼體(2)，電刷接線柱(6)相接處采用靜密封(7)結(jié)構(gòu)密封，與驅(qū)動(dòng)軸(3)相接處采用動(dòng)密封(8)結(jié)構(gòu)密封，另外，軸套(4)與前、后端蓋(10、11)相接處采用雙道動(dòng)密封(8)結(jié)構(gòu)密封，本發(fā)明的技術(shù)效果是鍍膜效率高，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)壽命長(zhǎng)。