一種新型的多段工藝供氣集成裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201120059925.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN202047130U 公開（公告）日 2011-11-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN202047130U 申請(qǐng)公布日 2011-11-23
分類號(hào) C23C14/54(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 靳偉;李惠;李躍華 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 馬鞍山子創(chuàng)功能性膜工藝研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海衡方知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 上海子創(chuàng)鍍膜技術(shù)有限公司;馬鞍山子創(chuàng)功能性膜工藝研究院有限公司
地址 201617 上海市松江區(qū)石湖蕩鎮(zhèn)唐明路277號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及到覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆的供氣系統(tǒng),尤其涉及到多段供氣集成系統(tǒng)和向反應(yīng)室輸入氣體或在反應(yīng)室中改性氣流的方法，其技術(shù)方案是提供一種新型的多段工藝供氣集成裝置，包括電磁閥、電磁閥板、通道管，其中，電磁閥固定設(shè)置在電磁閥板的上部，以管螺紋與電磁閥板密封連接，通道管設(shè)置在電磁閥板內(nèi)，所述電磁閥板的側(cè)面設(shè)有入氣口，與入氣口側(cè)面相交的另一側(cè)面設(shè)有出氣口。