一種銅蝕刻液及其制備方法和應(yīng)用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911383374.5 申請日 -
公開（公告）號 CN110904456B 公開（公告）日 2022-01-14
申請公布號 CN110904456B 申請公布日 2022-01-14
分類號 C23F1/18（2006.01）I;H05K3/06（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 章曉冬;劉江波;童茂軍 申請（專利權(quán)）人 蘇州天承化工有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 鞏克棟
地址 201599 上海市金山區(qū)金山衛(wèi)鎮(zhèn)秋實(shí)路688號1號樓5單元359室S座
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種銅蝕刻液及其制備方法和應(yīng)用。所述銅蝕刻液中包含如下組分：酸以其溶質(zhì)計(jì)算100?200g/L、四價(jià)鈰鹽200?500g/L和助劑0.01?10g/L；所述銅蝕刻液的溶劑為水；所述助劑為咪唑類化合物、磺酸類化合物或多元胺中的任意一種或至少兩種的混合物。本發(fā)明所述銅蝕刻液能夠保證高蝕刻效率，同時(shí)也滿足蝕刻液的高溶銅量，蝕刻過程中不僅穩(wěn)定性優(yōu)異，而且能夠極大程度上避免銅側(cè)蝕量多和底銅出現(xiàn)鉆蝕的問題。而且在發(fā)生蝕刻銅反應(yīng)后，無需任何處理，即能快速回收銅。