一種用于高可靠度芯片制造中抽檢裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022338747.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN213240424U | 公開（公告）日 | 2021-05-18 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213240424U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-18 |
| 分類號(hào) | G01R31/28;G01R1/04;G01R1/073 | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 李敏霞;張珂珂;曲傳悟 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 聯(lián)暻半導(dǎo)體（山東）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 漢中市銘源專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 楊悅 |
| 地址 | 250014 山東省濟(jì)南市中國（山東）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)濟(jì)南片區(qū)經(jīng)十路漢峪金谷人工智能大廈21層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種用于高可靠度芯片制造中抽檢裝置，包括檢測平臺(tái)和伸縮氣缸，所述檢測平臺(tái)內(nèi)對(duì)稱開設(shè)有兩個(gè)安裝腔，每個(gè)所述安裝腔內(nèi)均橫向轉(zhuǎn)動(dòng)連接有轉(zhuǎn)動(dòng)桿，兩個(gè)所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿相對(duì)的一端均轉(zhuǎn)動(dòng)連接在安裝腔的內(nèi)壁上，兩個(gè)所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿相背的一端均貫穿檢測平臺(tái)的側(cè)壁并固定安裝有旋轉(zhuǎn)把手，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接在檢測平臺(tái)的側(cè)壁內(nèi)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿上對(duì)稱固定安裝有兩個(gè)螺紋套，每個(gè)所述螺紋套上均螺紋連接有螺紋塊，每個(gè)所述螺紋塊的上端均固定安裝有夾板，所述檢測平臺(tái)的上端面對(duì)稱開設(shè)有兩個(gè)與夾板相匹配的滑孔。本實(shí)用新型，可以同時(shí)對(duì)兩個(gè)芯片本體進(jìn)行檢測，檢測效率高。 |
