一種晶圓級(jí)層壓塑封圓片的裁切成型方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110375994.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112908871A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-06-04 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112908871A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-04 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/56;H01L21/304 | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 陳海杰;徐立;潘浩;朱友義;陳棟;陳錦輝 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 江陰長(zhǎng)電先進(jìn)封裝有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京經(jīng)緯專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 趙華 |
| 地址 | 214433 江蘇省無(wú)錫市江陰市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)園區(qū)（澄江東路99號(hào)） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種晶圓級(jí)層壓塑封圓片的裁切成型方法，屬于半導(dǎo)體封裝的治具技術(shù)領(lǐng)域。其裁切平臺(tái)包括裁切刀組（50）、底盤(pán)（70）、旋轉(zhuǎn)電機(jī)（80）和膜屑抽吸系統(tǒng)（90），底盤(pán)（70）通過(guò)真空吸住塑封圓片（20），其裁切刀組（50）的裁刀Ⅰ（51）、裁刀Ⅱ（52）、裁刀Ⅲ（53）、裁刀Ⅳ（54）和銼刀（58）對(duì)塑封圓片（20）依次作業(yè)，完成對(duì)塑封圓片（20）的邊緣修整及其對(duì)位缺口（13）的修整。本發(fā)明對(duì)完成層壓工藝的塑封圓片的邊緣進(jìn)行修整和約束，形成標(biāo)準(zhǔn)圓片的形貌。 |
