一種AlN熱隔離平板雙面微結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體式氣體傳感器及其制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201010300140.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN101762623A 公開(kāi)（公告）日 2010-06-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN101762623A 申請(qǐng)公布日 2010-06-30
分類號(hào) G01N27/04(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 施云波;趙文杰;周真;修德斌;馮僑華 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 哈爾濱源創(chuàng)微納科技開(kāi)發(fā)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 哈爾濱市松花江專利商標(biāo)事務(wù)所 代理人 張宏威
地址 150001 黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)學(xué)府路52號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種AlN熱隔離平板雙面微結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體式氣體傳感器及其制造方法，涉及一種自熱隔離平板雙面微結(jié)構(gòu)氣體傳感器及其制造方法。解決了現(xiàn)有的Si材料的氣體傳感器存在工藝開(kāi)發(fā)成本高、工藝復(fù)雜等問(wèn)題?；瑢?duì)角線的四個(gè)方位上刻蝕有熱隔離槽，基片背面設(shè)置有加熱電極和信號(hào)電極，通過(guò)通孔基片正面與背面的加熱電極相連通，加熱電極為蛇形排列結(jié)構(gòu)，敏感膜附在信號(hào)電極上，制造方法如下：一選擇基片；二傳感器Pt金屬薄膜信號(hào)電極制備：首先光刻，其次鍍膜，最后金屬膜剝離；三異面加熱電極制備：首先鍍膜，然后激光刻蝕；四熱隔離；五退火；六附敏感膜。本發(fā)明可以作為半導(dǎo)體式Cl2、NOX、CO等氣體傳感器。