一種透射電鏡樣品中心位置的調(diào)節(jié)方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110247990.9 申請日 -
公開（公告）號 CN112904048A 公開（公告）日 2021-06-04
申請公布號 CN112904048A 申請公布日 2021-06-04
分類號 G01Q30/20 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉磊峰;云一峰;古宇 申請（專利權(quán)）人 蘇州青云瑞晶生物科技有限公司
代理機構(gòu) 長沙大勝專利代理事務所（普通合伙） 代理人 陸僖
地址 215500 江蘇省蘇州市常熟市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)賢士路88號6幢601
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種透射電鏡樣品中心位置的調(diào)節(jié)方法，包括：（1）衍射測試前調(diào)節(jié)：先將樣品置于成像區(qū)域中心，再將樣品臺先后旋轉(zhuǎn)至正、負對稱角度下，采集樣品的兩張實空間放大圖像，進行卷積計算，根據(jù)圖像關(guān)聯(lián)信息的相似性，調(diào)節(jié)樣品臺高度，再改變樣品臺先后旋轉(zhuǎn)的正、負對稱角度，重復操作并調(diào)節(jié)至共心高度；（2）衍射測試中調(diào)節(jié)：切換為衍射模式，調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)角速度后，啟動樣品臺的旋轉(zhuǎn)，按照固定的曝光間隔，收集樣品的衍射圖像以及散焦后的圖像，通過計算機圖形學的方法，計算出樣品中心的移動方向和距離，調(diào)節(jié)樣品臺，將樣品移動至衍射區(qū)域的中心。本發(fā)明方法能實時獲取樣品的位置信息并調(diào)整，固定在衍射區(qū)域的中心，衍射數(shù)據(jù)收集的效率和質(zhì)量高。