低介電損耗負性光敏聚酰胺酸酯樹脂、樹脂組合物、其制備方法及應(yīng)用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910288615.1 申請日 -
公開（公告）號 CN110028670A 公開（公告）日 2019-07-19
申請公布號 CN110028670A 申請公布日 2019-07-19
分類號 C08G73/12;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/16 分類 有機高分子化合物；其制備或化學(xué)加工；以其為基料的組合物;
發(fā)明人 陳興;劉洋 申請（專利權(quán)）人 明士新材料有限公司
代理機構(gòu) 濟南信達專利事務(wù)所有限公司 代理人 明士新材料有限公司
地址 250204 山東省濟南市章丘市刁鎮(zhèn)化工工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種低介電損耗負性光敏聚酰胺酸酯樹脂、樹脂組合物、其制備方法及應(yīng)用，屬于功能高分子材料領(lǐng)域。所述低介電損耗負性光敏聚酰胺酸酯樹脂由總二酐、不飽和雙鍵醇類、總二胺和分子量調(diào)節(jié)劑制備而成，所述總二酐由含氟芳香族二酐與非含氟芳香族二酐組成；所述總二胺由含氟芳香族二胺與非含氟芳香族二胺組成。包括該低介電損耗負性光敏聚酰胺酸酯樹脂的樹脂組合物經(jīng)曝光、顯影、熱固化后，得到的聚酰亞胺薄膜具有低介電常數(shù)、低介電損耗、低吸水率與優(yōu)良的熱穩(wěn)定性等優(yōu)點，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域具有良好的應(yīng)用前景。