一種銀鈧合金濺射靶材及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111181429.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114015989A 公開（公告）日 2022-02-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN114015989A 申請(qǐng)公布日 2022-02-08
分類號(hào) C23C14/35（2006.01）I;C22C5/06（2006.01）I;C22C1/02（2006.01）I;C22F1/14（2006.01）I;C21D8/02（2006.01）I;C22B9/04（2006.01）I;B21B27/02（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 曾墩風(fēng);王志強(qiáng);石煜 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蕪湖映日科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京正聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 楊靜
地址 241000安徽省蕪湖市中國(guó)（安徽）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)蕪湖片區(qū)衡山路南側(cè)、鳳鳴湖北路西側(cè)1#廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種銀鈧合金濺射靶材及其制備方法，由下列質(zhì)量份數(shù)的原料制備而成：Ag:96.90?99.85份，Sc:0.10?3.00份；還可以包括質(zhì)量份數(shù)為0.05?0.15份的摻雜元素，所述摻雜元素選自Ce，Pr，Zr，La，Nb中的一種或兩種。本發(fā)明銀鈧合金濺射靶材的制備方法包括熔煉鑄錠、加熱、軋制、熱處理、整形、機(jī)械加工、綁定等。本發(fā)明在銀基中添加合金元素鈧，可以有效改善銀基靶材的耐硫化性和耐熱性；在此基礎(chǔ)上，通過添加其它摻雜元素，可以進(jìn)一步減少晶粒的尺寸、改善靶材的綜合性能。上述技術(shù)效果的取得，是產(chǎn)品配方、制備方法等多個(gè)技術(shù)手段綜合作用的結(jié)果。