稀土離子摻雜ITO靶材的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111234757.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114032517A 公開(kāi)（公告）日 2022-02-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN114032517A 申請(qǐng)公布日 2022-02-11
分類號(hào) C23C14/35（2006.01）I;C23C14/08（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王志強(qiáng);馬建保;林燕明;曾墩風(fēng);陶成;畢榮鋒 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蕪湖映日科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京正聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 楊靜
地址 241000安徽省蕪湖市中國(guó)（安徽）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)蕪湖片區(qū)衡山路南側(cè)、鳳鳴湖北路西側(cè)1#廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種稀土離子摻雜ITO靶材的制備方法，屬于ITO靶材領(lǐng)域，通過(guò)粉末真空上料?粉末粗磨??粉末精磨?粉末納米級(jí)砂磨?漿料配膠?噴霧造粒?混合過(guò)篩制得ITO靶材的粉末，再進(jìn)行干壓、冷等靜壓成型?素坯進(jìn)行車(chē)削加工?燒結(jié)?機(jī)加工?綁定檢測(cè)，通過(guò)添加稀土氧化物粉體，解決了高銦錫比ITO靶材致密度不高、容易開(kāi)裂的問(wèn)題，提高了薄膜的載流子遷移率，可以更好地應(yīng)用于太陽(yáng)能電池行業(yè)。