一種避免選擇性塞孔過(guò)程磨板露基材的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011117362.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN112165778A 公開(kāi)(公告)日 2021-01-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN112165778A 申請(qǐng)公布日 2021-01-01
分類(lèi)號(hào) H05K3/00;H05K3/18 分類(lèi) 其他類(lèi)目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 劉慧民;東國(guó)秀;付陳洲 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 東莞森瑪仕格里菲電路有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣東有知貓知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 東莞森瑪仕格里菲電路有限公司
地址 523000 廣東省東莞市茶山鎮(zhèn)茶山工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種避免選擇性塞孔過(guò)程磨板露基材的方法,先制作所有的孔;將大孔和小孔電鍍6?8um的銅;先制作塞孔via對(duì)應(yīng)的背鉆孔;選擇性電鍍,先將塞孔via孔鍍至完成銅厚,面銅、壓接孔和不塞via用干膜覆蓋,對(duì)1.5mm以上的大孔,在距離孔口0.3?1mm距離區(qū)域干膜開(kāi)出單邊為6?15mil的圓環(huán)凸起,在選擇性電鍍環(huán)節(jié)鍍高,避免在后續(xù)磨板環(huán)節(jié),將大孔孔口磨露基材;選擇性塞孔,塞住小孔和背鉆孔;磨板,磨去塞孔樹(shù)脂,以及磨平大孔孔口突出的銅環(huán),銅環(huán)保護(hù)大孔孔口的銅面,不被磨露基材。本發(fā)明避免選擇性塞孔過(guò)程磨板露基材的方法具有效控制選擇性塞孔、POFV產(chǎn)品制作過(guò)程蝕刻底銅厚度、解決3mil/3mil精細(xì)線路缺陷率高問(wèn)題、避免樹(shù)脂塞孔后的蓋孔減銅流程等優(yōu)點(diǎn)。