一種新型的白光干涉儀結(jié)構(gòu)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210286658.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114593690A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-06-07 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114593690A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-06-07 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01B11/24;G01B9/0209;G01B9/02015 | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 衣俊全;袁芬芳;周翔 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 深圳市鷹眼在線電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京惟盛達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 陳釗 |
| 地址 | 518000 廣東省深圳市龍崗區(qū)園山街道保安社區(qū)聯(lián)合路13-1號(hào)1號(hào)廠房101 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種新型的白光干涉儀結(jié)構(gòu)，包括第一驅(qū)動(dòng)平臺(tái)，在所述第一驅(qū)動(dòng)平臺(tái)上設(shè)置有白光發(fā)生單元、分束單元、信號(hào)采集單元，在第一驅(qū)動(dòng)平臺(tái)上還設(shè)置有反射單元，反射單元設(shè)置在分束單元后端，在第一驅(qū)動(dòng)平臺(tái)還設(shè)置有第二驅(qū)動(dòng)平臺(tái)，第二驅(qū)動(dòng)平臺(tái)設(shè)置有第一物鏡、第二物鏡以及參考鏡，第一物鏡和第二物鏡平行設(shè)置，第一物鏡上端與分束單元對(duì)應(yīng)布置，第二物鏡上端與反射單元對(duì)應(yīng)布置，第二物鏡下端與參考鏡對(duì)應(yīng)布置，待測(cè)物品設(shè)置在第一物鏡下端。掃描時(shí)只需移動(dòng)第二驅(qū)動(dòng)平臺(tái)即可進(jìn)行待測(cè)物品高度方向上的測(cè)量，減輕了掃描系統(tǒng)的承重，解決了高精度掃描場(chǎng)合，負(fù)載過(guò)重問(wèn)題，拓寬掃描系統(tǒng)的選擇范圍，擁有更高掃描精度的同時(shí)降低生產(chǎn)成本。 |
