一種自動擴晶工作臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202220762561.5 申請日 -
公開（公告）號 CN216928513U 公開（公告）日 2022-07-08
申請公布號 CN216928513U 申請公布日 2022-07-08
分類號 H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳潔;陳鳴;吳曉輝 申請（專利權(quán)）人 深圳市鷹眼在線電子科技有限公司
代理機構(gòu) 北京惟盛達知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 -
地址 518000廣東省深圳市龍崗區(qū)園山街道保安社區(qū)聯(lián)合路13-1號1號廠房101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型屬于擴晶裝置技術(shù)領域，具體涉及一種自動擴晶工作臺，包括擴膜板以及用于夾壓藍膜的左晶圓壓板和右晶圓壓板，左、右晶圓壓板之間存在一徑向設置的供晶圓上料機械手水平通過的一對缺口，其中一個缺口為進料缺口，晶圓壓板通過壓板支撐組件固定在壓膜板墊塊上，壓膜板墊塊設置在晶圓頂板的圓環(huán)上，晶圓頂板設置在晶圓工作臺底板上的擴膜板固定件上方；所述圓環(huán)上設置有與進料缺口對應的扣板，所述壓膜板墊塊上設置有與扣板對應的扣板槽，所述擴膜板固定件上設置有與扣板對應的推柱組件，所述圓環(huán)上設置有與推柱組件對應的推柱槽，晶圓頂板下降時，推柱組件上端抵接扣板。通過扣板對進料缺口提供支撐力，提高了擴晶良率。