晶粒分選裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210255708.6 申請日 -
公開（公告）號 CN114649241A 公開（公告）日 2022-06-21
申請公布號 CN114649241A 申請公布日 2022-06-21
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳潔;丁曉華;岳鑫;陳鳴 申請（專利權(quán)）人 深圳市鷹眼在線電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 -
地址 518000廣東省深圳市龍崗區(qū)園山街道保安社區(qū)聯(lián)合路13-1號1號廠房101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┝艘环N晶粒分選裝置，包括上料組件、夾取組件、晶圓臺組件、頂針組件、翻轉(zhuǎn)組件、檢測組件、轉(zhuǎn)塔組件及收料組件，上料組件獲取晶圓盒，晶圓盒中裝載有多片晶圓，夾取組件將晶圓盒中的多片晶圓分別夾取至晶圓臺組件，晶圓臺組件對晶圓進(jìn)行擴(kuò)膜，頂針組件頂起擴(kuò)膜后的晶圓上的晶粒，翻轉(zhuǎn)組件吸取晶粒，檢測組件包括第一檢測相機(jī)，第一檢測相機(jī)用于檢測晶粒的第一面，翻轉(zhuǎn)組件將晶粒的第一面旋轉(zhuǎn)并對準(zhǔn)轉(zhuǎn)塔組件，以使得轉(zhuǎn)塔組件吸取晶粒的第一面，檢測組件還包括多個檢測相機(jī)，分別對晶粒的多個面進(jìn)行檢測，轉(zhuǎn)塔組件將檢測合格的晶粒旋轉(zhuǎn)至收料組件進(jìn)行收料。