一種石墨烯薄膜的制備方法及含有石墨烯薄膜的裝置
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201810663151.3 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN110629188A | 公開(公告)日 | 2019-12-31 |
申請公布號 | CN110629188A | 申請公布日 | 2019-12-31 |
分類號 | C23C16/26(2006.01); C23C16/04(2006.01); C23C16/513(2006.01); C01B32/186(2017.01) | 分類 | 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面化學(xué)處理;金屬材料的擴(kuò)散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
發(fā)明人 | 田小讓; 何延如; 趙冠超; 李立偉; 孟原; 郭鐵 | 申請(專利權(quán))人 | 新奧光伏能源有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 北京同達(dá)信恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 黃志華 |
地址 | 065001 河北省廊坊市廊坊經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)華祥路106號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開了一種石墨烯薄膜的制備方法及含有石墨烯薄膜的裝置,該制備方法包括:在金屬基底上形成鈍化層;在鈍化層上形成孔洞,使得通過孔洞漏出金屬基底;在露出金屬基底的孔洞上形成石墨烯薄膜,并且石墨烯薄膜覆蓋鈍化層。通過在金屬基底表面覆蓋一層鈍化層,然后在鈍化層上形成孔洞,實現(xiàn)了對金屬基底的選擇性鈍化處理,使得金屬基底具有催化能力的區(qū)域面積和數(shù)量可控,從而使得石墨烯薄膜的生長速度可控。 |
