一種石墨烯薄膜的制備方法及含有石墨烯薄膜的裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810663151.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN110629188A 公開(kāi)（公告）日 2019-12-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN110629188A 申請(qǐng)公布日 2019-12-31
分類號(hào) C23C16/26（2006.01）; C23C16/04（2006.01）; C23C16/513（2006.01）; C01B32/186（2017.01） 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 田小讓; 何延如; 趙冠超; 李立偉; 孟原; 郭鐵 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 新奧光伏能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京同達(dá)信恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 黃志華
地址 065001 河北省廊坊市廊坊經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)華祥路106號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種石墨烯薄膜的制備方法及含有石墨烯薄膜的裝置，該制備方法包括：在金屬基底上形成鈍化層；在鈍化層上形成孔洞，使得通過(guò)孔洞漏出金屬基底；在露出金屬基底的孔洞上形成石墨烯薄膜，并且石墨烯薄膜覆蓋鈍化層。通過(guò)在金屬基底表面覆蓋一層鈍化層，然后在鈍化層上形成孔洞，實(shí)現(xiàn)了對(duì)金屬基底的選擇性鈍化處理，使得金屬基底具有催化能力的區(qū)域面積和數(shù)量可控，從而使得石墨烯薄膜的生長(zhǎng)速度可控。