一種太陽能電池及其氫化非晶硅i膜層表面處理方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710641527.6 申請日 -
公開（公告）號 CN107425087B 公開（公告）日 2019-09-03
申請公布號 CN107425087B 申請公布日 2019-09-03
分類號 H01L31/0747;H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 谷士斌;何延如;張林;張娟;徐湛;楊榮;李立偉;孟原;郭鐵 申請（專利權）人 新奧光伏能源有限公司
代理機構 北京同達信恒知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 黃志華
地址 065001 河北省廊坊市經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)華祥路106號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅異質(zhì)結(jié)太陽能電池及其氫化非晶硅i膜層表面處理方法，采用氫氬混合或者氫氦混合氣體對氫化非晶硅i膜層表面進行等離子體處理，既可以通過氬或者氦等離子體以物理方式對氫化非晶硅i膜層表面進行較優(yōu)的清洗，還能夠促進氫等離子體數(shù)量的增加，從而增強對氫化非晶硅i膜層表面的鈍化和清洗效果；同時，氬或者氦等離子體物理轟擊過程中會對氫化非晶硅i膜層表面產(chǎn)生輕微的損傷，氫等離子體不僅對氫化非晶硅i膜層表面起到鈍化作用，還可修復此輕微損傷。氫氬混合或者氫氦混合等離子體協(xié)同作用，可對氫化非晶硅i膜層表面起到較優(yōu)的鈍化和清洗作用，從而提升電池性能。